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Cu互連阻擋層研究

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Cu互連阻擋層研究

djxgreat創(chuàng)建于2011-11-11 最后編輯: 2011-11-11 11:11 9,078閱讀
Cu互連阻擋層研究
共 4 個(gè)文檔
集成電路CU互連工藝中W基擴(kuò)散阻擋層研究 70p
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  • 作者: DodoDown
  • 2010-04-15
  • 格式: PDF
新一代集成電路Cu互連用Ta基擴(kuò)散阻擋層的制備及特性研究 81p
pdf 新一代集成電路Cu互連用Ta基擴(kuò)散阻擋層的制備及特性研究
暫無描述
  • 作者: 拉拉
  • 2011-05-03
  • 格式: PDF
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